Equipos pulverización catódica sputtering

Cámara de alto vacío esférica de fabricación propia

Cámara de vacío multifuncional con diversos puertos confocales CF. Presiones de hasta 10-7 mbar. Puede utilizarse para fabricar películas delgadas de nanopartículas metálicas de tamaños entre 5 y 10 nm, con la posibilidad de embutirlas en diferentes matrices (metálicas o aislantes). En la actualidad la cámara está equipada con:

• Cañón de nanopartículas
• Dos magnetrones de 3’’ con obturadores independientes automatizados
• Portamuestras rotatorio montado en brazo retráctil.
• Medidor de ritmos de deposición de cuarzo QCM montado sobre brazo retráctil.
• Control electrónico del flujo de gases.

Equipo de sputtering Boc-Edwards Auto Coating System 500

Equipo ideal para la fabricacion de películas delgadas y multicapas de hasta 3 materiales diferentes (preferentemente metálicos). En la actualidad la cámara está equipada con:

• Cámara de vacío con refrigeración integral por agua.
• Tres magnetrones de 3’’ con sistema de obturadores automatizado.
• Controlador electrónico de flujo de gases de 2 canales.
• Plataforma portasustratos caldeable hasta 500ºC y con movimiento de rotación automatizado. 
• Dos fuentes de radiofrecuencia (300W y 600W)

Cámara de alto vacío esférica para deposición de óxidos cerámicos

Su uso está enfocado actualmente a la fabricación de películas altamente ordenadas de óxidos cerámicos con estructura perovskita. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Cámara de vacío multifuncional con diversos puertos confocales CF.
• Presiones de hasta 10-7mbar. 
• Un magnetrón de 2’’ con obturador automatizado
• Portamuestras caldeable hasta 1000ºC
• Controladores electrónicos de flujo de gases. 

Equipos de caracterización magnética

Magnetómetro SQUID Quantum Design MPMS XL con EverCool

Equipo de medida de propiedades magnéticas (imanación, susceptibilidad AC) de altísima sensibilidad. Mediante el suministro de botellas de He gas mantiene automáticamente el sistema interior de He líquido permanentemente. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Medidas hasta 5T.
• Rango de temperaturas: 2 a 400K.
• Sistema Evercool de liquefacción de Helio.
• Medidas DC y AC.

Magnetómetro VSM, marca LDJ9600

Equipo de rutina para realizar medidas magnéticas rápidamente, especialmente  a temperatura ambiente. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Campos hasta 1,5T
• Rango de temperaturas de 4,2 a 475K mediante criostato de helio liquido de flujo abierto.

Equipo Oxford MagLab EXA

Equipo de medida mixto que incluye propiedades magnéticas y de transporte eléctrico desde He liquido hasta 400K y a alto campo magnético. Funciona mediante el suministro constante de He líquido. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Medidas hasta 9T
• Rango de temperaturas: 2 a 400K
• Portamuestras para medidas de resistividad eléctrica (2 muestras)
• Portamuestras Cantilever para medidas de torque magnético

Equipo de medida de efecto Kerr transversal (MOKE)

Equipo de medida útil para la caracterización superficial de películas magnéticas muy delgadas.

Equipos de caracterización estructural

Difractómetro de rayos X Bruker D8 Advance

Equipo versátil para la medida de difracción de polvo y reflexión de películas delgadas y multicapas. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Configuración Theta – Theta.
• Tubo de rayos X: radiación Cu Kα
• Espejo Göbel para producir haz paralelo.
• Portamuestras especial para medidas de reflectividad.
• Detector 0D puntual de centelleo.
• Detector 1D LynxEye.
• Software de análisis: EVA, LEPTOS.

Equipamiento complementario

Criostato de flujo cerrado de Helio

Permite la realización de medidas de resistencia eléctrica y magneto-óptica. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Rango de medida en temperaturas: 8K – 320K.
• Mide varias muestras simultáneamente

Horno tubular de vacío

Permite realizar calentamientos en materiales pequeños hasta 1200ºC en vacío o en diferentes atmósferas controladas, al tiempo que puede medirse resistencia eléctrica. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Tubo de cuarzo
• Temperatura máxima: 1200ºC
• Equipo de vacío: rotatoria y bomba turbomolecular

Estufa de mufla

Permite calentar muestras de gran tamaño en atmosfera NO controlada. En la actualidad la cámara está equipada con:

• Temperatura máxima: 1200ºC
• Posibilidad de crear protocolos complejos de cambio de temperatura.

Microscopio metalográfico Olympus BX50

En la actualidad la cámara está equipada con:

• Doble fuente para trabajar por reflexión y por transmisión.
• Luz polarizada.
• Cámara de vídeo y cámara réflex digital para toma de imágenes.